激光设备在BC电池中的应用.docx

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1、激光设备在BC电池中的应用BC电池技术的发展光伏电池的效率存在一定极限。晶体硅在室温下的光学带隙决定了其能有效利用的光子能量有限，同时能量过高的光子也会有能量散发。综合各种因素，常温下硅基光伏单结电池的效率极限约为29.4%。钝化是提高电池效率的关键。不同的电池技术，如PERC、TOPConHJT等，其钝化方式各有特点。双面TOPCon电池的理论极限效率为28.7%,HJT电池的理论极限效率为28.5%oBC电池技术具有独特性，主要通过背面图形化工艺将p+发射极、n+背场区以及栅线放置于电池背面，与其他通过改变电池钝化膜层结构来实现效率及特性改变的技术不同。BC电池技术是一种平台化技术，具有较

2、好的兼容性，可与其他钝化电池技术相结合，如TBC电池结合了BC电池高的短路电流与TOPCOn优异的钝化接触特性，HBC电池则结合了BC电池高的短路电流与HJT电池高的开路电压优势。在各种BC电池技术中，HPBe的Eta相比于PERC有显著提升，入库达到24.6%,设备投资也相应增加；TBC的Eta相比于TOPCon增加1%,设备投资则增加更多BC产品具有高效、美观的特点。其正面无栅线，提升了组件的美观度，且能在相同美观程度下凭借更高的效率实现更高的发电量。激光在BC技术上的应用BC产能扩张带动了激光类设备需求的大幅增长。单GWPERe产线激光类设备价值量占一定比例，而BC产线中激光设备的价值占

3、比更高。激光技术在BC电池中有广泛应用，如开膜、氧化、刻蚀、烧结、退火等，且激光开膜适用范围广，可根据不同电池片材料和膜层材质有不同的匹配形式。I激光技术在光伏电池技术上的应用PERCTOPConI所IHPBCITBCIH8CI1清洗制城清洗制Ml清洗制城涛逸一光*光（）2artk本位*化等磴（正面）叙化磴+*征*化非*硅M*三*au(WH)本怔化攀一磅（正）3激光SC播余舞a硅（正）犷触退火（背）rnRB()4去PSG然找本征化等鼻残（）青光开（0）激光开本庭化非（*）5去BSG排余尊硅（IrW）去PSG+统曾去ttttBSG+P-poly+SiOx*aa(#)6退火背器透明导电嗔（WB）M

4、献腔穿+本征等a陵（ire）微光开7AlO1WtRB穿本征尊破透明导电（正）AKMt化（双一）rMtt8*反()扩散”同印1()激北开本梃犯化非磅（）9或反UEB)去PSG去W反（正）去统*PSG*N-PotySiOxa*B()10欧光开，AlQ化光注入激光刑（Ir闻清洗1缄（正百）BJfHUX*匚刷*反（正）潸试分送丝网出剧AOxWft(双事)12谖结反(*)线结(JEW)透明号电*（*13先注入/电注入些网印91光注入/唱注入*&(*)光PN”14费试分透潮试分送依阿印IM依网印刷15LECO犊给16党注入窝试分通酒试分选17焉玳分途激光加工具有零接触、常温制备、简化流程、快速对位、精确等

5、优势，但目前也存在应用瓶颈，如运用激光开膜技术实现BC电池背面工艺图形化时，由于电池栅线全在背面且数量多，激光加工时间长，设备CT较长，产能较低。激光BC电池量产设备主要由自动化上下料系统、视觉识别系统、激光光学系统、除尘系统等组成，其中光学系统的主要元件包括激光器、反射镜、扩束镜、DOE、扫描振镜、场镜等。扫描振镜通过控制电机马达带动的反射镜移动激光光束落点，实现激光加工。激光开膜分为直接开膜和间接开膜，本质是膜层相变的过程。工作范围工作范围池技术发展，对激光设备的要求不断提高，光斑尺寸需求越来越大。但光斑尺寸扩大不仅需更换整形DOE镜片，还需匹配等量光斑能量密度，这对激光器供应商提出了很高要求。直接开模间接开模在TOPCon电池的激光氧化和激光减薄工艺流程中，激光技术也发挥了重要作用。激光氧化可在TOPCon电池POly层上形成氧化硅层，保护选择性的TOPCon结构；激光减薄相较于目前TOPCon产线，具有增加一道工序、实现背面POLY图形化、提高双面率以及提升电池效率等优势。总之，BC电池技术的发展为光伏产业带来了新的机遇，而捷佳伟创在激光设备工艺研发方面的成果，为BC电池的量产提供了有力支持，有助于推动光伏行业的进一步发展。