平板显示用剥离液循环再生利用技术要求.docx

平板显示用剥离液循环再生利用技术要求1范围本标准规定了平板显示用剥离液循环再生利用技术的术语和定义、原料、处理工艺及技术要求、质量控制、检测规则和安全。本标准适用于平板显示行业的剥离液废液的循环再生利用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T325.1包装容器钢桶第1部分:通用技术要求GB/T601化学试剂滴定分析（容量分析）用标准溶液的制备GB/T3143液体化学产品颜色测定法（HaZen单位一钳-钻色号）GB/T6283化工产品中水分含量的测定卡尔费休法（通用方法）GB/T6678化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T9722化学试剂气相色谱法通则SJ/T11637-2016电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1剥离Stripper平板显示行业通过溶液方式来剥除光刻胶的一种统称。4原料含有机溶剂溶液通过剥离工序后，含有被剥离材料的杂质的废液。5处理工艺及技术要求5.1一般规定去除废液中的大分子胶状物体、金属离子等杂质，可以用蒸播、精帽、膜分离、电渗析等方法。推荐使用精储的方法使平板显示行业的剥离液废液循环再生利用。5.2平板显示行业剥离液废液循环再生工艺5.2.1平板显示行业剥离液废液循环再生工艺流程，如图1所示:剥离液废液残渣去有资质单位处理图1废液再生利用工艺流程图5.3平板显示行业剥离液废液循环再生技术要求5.3.1过滤废液宜经不小于50目Y型过滤器过渡，将废液中较大的固体杂质去除，保证进入蒸发系统的废液无肉眼可见的固体杂质。5.3.2蒸发废液经泵打入蒸发器蒸发，气相进入一级精镭塔，残液经过残液蒸发器二次蒸发后，将二次蒸发的釜残作为危废交由具有资质的单位处置。残液蒸发器蒸发的气相进入精微单元。此工序实现去除废液中光刻胶的目的。5.3.3一级精福经蒸发器除胶后的气相进入脱轻塔单元，经过多次气质气液交换，废液中的水及有机轻组分进入塔顶,经冷冻水冷凝收集进高位槽,根据废液组分情况,这部分可以通过工艺参数的适当调整做成副产品。剥离液废液中的有效组分富集在塔釜，通过高温塔釜泵送进二级精微塔成品塔中。此步工序实现轻组分的去除。5.3.4二级精福经高温塔釜泵从脱轻塔塔釜泵入成品塔后的物料，经多次气质气液交换后，塔顶为进一步脱出光刻胶和金属离子的再生液，塔釜根据温度，定期排放部分残液，保持成品塔的流畅运行。5.3.5分析按GB/T3143、GB/T6283、GB/T9722对成品塔塔顶再生液进行分析。分析合格则为电子级再生液。5.3.6不合格回用检测不合格品切换回原料罐中供再次生产。6质量控制电子级再生液质量检查项目和技术要求应符合表1所示。表1电子级再生液质量要求项目指标试验方法水分含量（%）<0.10%GB/T6283有机组分含量（%）>99.00%GB/T9722外观无色透明目测金属杂质Li<40ppbSJ/T11637-2016Na<40ppbMg<40ppbAl<40ppbK<40ppbCa<40ppbCr<40ppbMn<40ppbFe<40ppbCo<40ppbNi<40ppbCu<40ppbZn<40ppbSr<40ppbCd<40ppbPb<40ppb7安全7.1 本再生液具有腐蚀性，凡接触人员应使用必要的防护用品，如过滤式防毒面具、耐酸手套及工作服等防止灼伤。取样时应有人监护。7.2 如被本再生液灼伤皮肤应立即用大量水冲洗，并立即就医。7.3 本再生液易燃，应避免明火、曝晒以及与有机物、金属粉末等接触。当用槽车运输时，禁止在容器附近抽烟或动用明火。7.4 严格遵守国家有关消防、危险品的安全办法。7.5本再生液运输须使用有资质的危险化学品运输承运。运输工具应清洁、卫生，不得与有毒、有害、有腐蚀性、易挥发或有异味的物品混装运输。7.6本再生液储存地点应干燥、通风、远离火源及其他危险品或禁配物，避免阳光直射，应具备消防器材和救护设施。